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        kollmorgen伺服驅動器+直驅伺服半導體行業解決方案(上)

        2020-03-27 12:40 技術知識

         

        科爾摩根伺服驅動器
                 以5G、人工智能、工業互聯網、物聯網為代表的“新基建”正火如荼地開展,而以半導體芯片和平板顯示器等高科技產品的研發和生產則是支撐其蓬勃發展的重要基石。Hero behind Hero,作為英雄背后的英雄,無論是在刻蝕、PVD、晶圓清洗、晶圓搬運、貼片等半導體生成制造工藝中,您也總能找到科爾摩根的身影。
        科爾摩根伺服驅動器
                 憑借獨特的高性能直驅運動控制技術,科爾摩根成為眾多半導體生產和檢測設備龍頭企業的選擇。下面,就讓我們通過幾個應用案例來揭秘科爾摩根卓越的半導體設備伺服驅動器+直驅伺服解決方案能為客戶帶來什么價值吧!
        科爾摩根伺服驅動器
        解決方案核心優勢
         
        1. 業界領先的直驅技術 —— 直驅電機實現高速、高精度定位。
         
        2. 直接驅動實現精密軌跡控制 —— 簡化設備結構,并提高設備性能。
         
        3. 產品技術方案穩定可靠 —— 擁有全球成熟的行業經驗及本地專業技術能力。
         
        4.高性能AKD伺服驅動器
         
        kollmorgen伺服驅動器+直驅伺服技術在半導體設備的成功案例分享
         
        1、案例一:CMP化學機械研磨機
        科爾摩根直驅電機
                針對該研磨設備所面臨的性能瓶頸,科爾摩根為其提供了伺服驅動器+直驅伺服轉臺和研磨頭的16軸系統方案,方案集成了科爾摩根的明星產品直驅電機DDR和高性能標準伺服電機AKM。電機優化的電磁設計有效降低了齒槽效應,減少了速度波動。同時,緊湊的電機尺寸節省了更多安裝空間。而且,熱替換功能允許在不關閉網絡的情況下替換節點,進一步減少了停機時間。最終,方案幫助用戶實現了用于300mm以及65nm晶圓加工的研磨設備技術要求,實現了多軸數緊密協同控制,且運動控制可按照要求定制軌跡,幫助設備獲得了高可靠性和安全性,以及確保零停機時間。
        科爾摩根直驅電機
        2、案例二:晶圓搬運機器人
        科爾摩根直驅電機
                面對客戶現有設備的諸多實際應用痛點,如電機安裝在真空環境中的發熱控制,電機的真空度適應能力提升,中心力矩電機控制需適應機器人不同位置和負載重量帶來的負載慣量動態變化,以及實現運動模塊之間的協同運動極為平穩可靠等要求,科爾摩根技術專家為其推薦了高性能的KBM無框直驅電機匹配AKD伺服驅動器的解決方案。定制化的KBM無框直驅電機方案,節省了設備約40%的安裝空間。同時,控制器提供反向運動學算法及抑振算法,保障了晶圓搬運機器人的高速平穩運行,且實時軌跡修改實現了平穩軌跡運動。另外,雙二階濾波器,電機斜槽設計等手段最大程度減少了轉矩紋波,全方位提高了設備的競爭力。
        科爾摩根直驅電機
                憑借超過70多年的運動控制經驗,全球化的設計方案,靈活的定制能力,以及本土化的快速供貨,科爾摩根在半導體行業的眾多機型,比如晶圓激光檢測機、光阻涂布機、晶圓分選機、覆晶貼片機、X光檢測系統、MENS慣性傳感器測試機以及SMT高速貼片機等設備類型上都有著成熟的應用經驗??茽柲Ω欧寗悠?直驅伺服技術是您改善設備性能、提高設備競爭力的不二選擇。

         

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